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低制品蓝宝石图形衬底进步LED发光功率ag88.com

作者:www.ag88.com时间:2018-08-11 08:11浏览:

  低制品蓝宝石图形衬底进步LED发光功率

   日前,MicroTech公司开发了一种用于制备蓝宝石图形衬底的湿法处理作业站,经过作业站大批量腐蚀蓝宝石,添加高亮度LED的光提取和外量子功率。这一湿法刻蚀工艺能够大规模进步产值以下降本钱,生产本钱是现在LED与荧光灯照明竞赛的首要阻止。关于LED制造商本钱的下降,PSS衬底的运用变的非常重要,PSS上的LED的均匀光输出功率比较惯例蓝宝石衬底上进步了37%,PSS的运用既下降了GaN外延层的位错密度,进步了LED光提取功率。

  传统的干法刻蚀PSS图形衬底对添加LED功率很有用,但产值较低,可控性受衬底尺度添加的影响许多,晶片尺度添加时需求更多的刻蚀东西来保持产值。在MicroTech体系的湿法刻蚀进程比较简单,选用PECVD在蓝宝石晶片上堆积一层图形SiO2掩膜,光刻曝光要刻蚀的图形,然后把晶片浸入装有刻蚀剂弛缓冲剂的刻蚀槽中。宝石刻蚀进程在260℃和300℃之间进行,这一超高温比惯例150-180℃腐蚀进程刻蚀速率快许多,因而显着添加产值。中立的消费者评价显现这种PSS图形衬底对LED的光提取和功率有显着进步,即便在刻蚀后进行晶片抛光依然如此,ag88.com,一起本钱也显着下降。选用化学机械抛光以改进PSS晶片上的圆顶形状的作业正在进行中,一起新式的无圆锥形图形也在发展中。

  最近,MicroTech公司宣告将相似概念的腐蚀作业站运用到太阳能电池工业范畴,把传统干法CVD进程替换为批量生产的、环境友好的湿法进程,完成高的生产值和低的本钱。

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